基本信息
| 标准名称： | 利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 |
| 英文名称： | Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step |
| 中标分类： | 仪器、仪表 >> 仪器、仪表综合 >> 基础标准与通用方法 |
| ICS分类： | 试验 >> 试验条件和规程综合 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-12-30 |
| 实施日期： | 2012-05-01 |
| 首发日期： | 2011-12-30 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
| 提出单位： | 中国科学院 |
| 归口单位： | 全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
| 起草单位： | 国家纳米科学中心 |
| 起草人： | 朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2012-05-01 |
| 页数： | 16页 |
适用范围
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
ISO25178-6:2010 产品几何量技术规范(GPS)表面结构 区域法 第6部分:表面结构测量方法分类(Geometricalproductsspecification—Surfacetexture:Areal—Part6:Classificationofmethods formeasuringsurfacetexture)
ISO/IECGuide98-3:2008 测量不确定度表示指南(Uncertaintyofmeasurement—Part3:Guide totheexpressionofuncertaintyinmeasurement)
ISO/TS21748:2004 测量不确定度评估的重复性、再现性和准确度评估的使用指南(Guidance fortheuseofrepeatability,reproducibilityandtruenessestimatesinmeasurementuncertaintyestimation)
所属分类： 仪器 仪表 仪器 仪表综合 基础标准与通用方法 试验 试验条件和规程综合